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一十六 人仰馬翻

小說:還有人做半導體嗎 作者:仰面清風明月

  大亂子還是來了。

  即使昨天加班到半夜,孔明跟魏延也沒有查出個所以然,只好寄希望于是單片問題,雖然他們兩個連自己都不信。

  果不其然,第二天,隨著更多wafer的yield數據傳進來,越來越多的wafer suffer bin74的問題,最低的一片甚至低于90,這已經是一個慘不忍睹的良率了,要知道,對90nm工藝的earth來說,99是平均值,一下子loss這么多,簡直是業界恥辱。

  章丘臉色發黑,責令張偉下周一之前必須給出root cause,不然每一個人都別想好過。

  張偉畢竟身經百戰,幺蛾子見過很多,單片wafer出問題難以追溯,但是現在已經有了接近20片wafer了,應該可以發現問題的,周五加上周末,3天足矣。

  “小孔,你把最近一個月出貨的earth產品全部整理一下,所有能抓到的數據全部抓起來,wat,inline,defect,warning,今天先做這些。”

  “如果還是沒有明確的線索,明天開始做tool through,把所有的process tool過一遍,看看能不能發現issue tool。注意,可能不是一家的某個機臺,有可能是捆綁在一起,issue才會出現,所以tool through要做的細致而全面,石帆,你幫小孔一起整理。”

  “另外關注一下同期其他產品的yield,看看是否有類似問題。”

  張偉一項項布置下來,魏延不用布置,他自然知道怎么做。張偉沉聲說:“我來看wat,小孔,data準備好之后,全部發給我。”

  魏延點頭:“我看inline和defect,我待會兒去找一下小青。”

  小青叫顧小青,是ye 3組的組長,earth前段的owner。

  從第一片wafer出問題開始算,近乎20%的wafer出現不同程度的yield loss,全部是bin74,漏電相關。這也就是昨天剛開過周會,這個時候估計客戶還沒反應過來,正是fab求生的關鍵期。

  在最短的時間內找到問題。

  一條條數據被檢索出來,然后在Excel里匯總分析,缺少商業分析軟件的輔助,張偉看到這些raw data,也不禁有些頭大,不過他畢竟是過來人,類似的場面也不是沒經歷過,這個時候就要咬牙堅持了。

  通過張偉等人的緊急作業,初步尋出了3家懷疑對象,分別是poly之后的rta,gate oxide,與poly photo。

  張偉斟酌了一下措辭,發出了郵件,并且將廠長抄送了進去。

  郵件一出,人人自危的各家module幾人歡喜幾人愁,被highlight到的只能哀嚎一聲,趕緊去拉相關數據以證清白。

  找出懷疑點相對容易,但想證明清白就很難了,需要大量的數據以及嚴密的邏輯論證,這個時候fab一般會人仰馬翻,因為除了日常的繁重工作外,要額外處理這個緊急又重要的事情,因為大家都擔心后續搞大的話,客戶賠償肯定不小,而這必然要牽連到一批人。

   rta屬于imp,他們的機臺相對簡單,item與parameter都比較簡單直接,所以在周五下班前就準備好了相應數據,翔實的數據讓張偉也無話可說。而這個時候,diff和photo的人還在辛苦的搜尋證據。本來diff的機臺也很簡單,但是他們機臺軟件不給力,數據導出困難,需要工程師到車間里面去弄,而且非常麻煩。

  總之,相關的人員一片人仰馬翻的在忙碌。




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