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一十八 困獸之斗

小說:還有人做半導體嗎 作者:仰面清風明月

  周六的辦公室并沒有顯得冷清,只是在孔明這個片區來說,人員齊整。

  蕭樂樂沒有帶lot,但就小組目前的情況,她也沒辦法做到自己休假,讓同事在忙,所以她也在追查。為了發揮她的優勢,張偉讓她查機臺pm或者warning相關的東西,蕭樂樂對rule很熟,對各家機臺也非常了解,有她做這個最合適不過了。

  其他人當然也沒有閑著,產品出了大事,pie沒辦法盡快把問題鎖定,那就只好自己被釘在墻上打了,這是任何一個pie都無法忍受的。

  可是,事情似乎真的陷入絕境一般。

  更多的wafer yield出來,問題依然存在,唯一的好消息是yield loss沒有繼續下探,而是保持在了當前水平,也沒有波及到其他產品,這是張偉無法理解的事情。

  魏延在跟張偉商量。

  “我跟客戶詳細了解了一下bin74的測試條件,我覺得有必要在沒有出貨的wafer上試一下。”

  “問題可能已經消失了,不過還是先測吧,說不得要全線hold住了。”

  “那可就是大事了。嗯,我先找一下testkey,wat砍的也有點多,Ioff的測試項目太少了,recipe要重新建。。”

  “測個full mapping吧。每個lot挑5,6片。”

  “實在不行,可能還要客戶寄回一片wafer,切個fa看一下。”

  “fa不一定能看出來,得先做efa。”

  “bin74的layout我已經看過了,也不是min width的地方,看不出來有什么特殊pattern。”

  “這個我們兩個再看一下,把device相關的layer都看一遍。”

  孔明覺得現在仿佛就是置身戰場,張偉跟魏延是值得信賴的老兵,只是現在敵人兇殘而狡詐,并且隱藏在暗處丟手雷,這仗打得很難受。

   diff跟litho的報告也回復了,張偉瞇著眼看完,然后閉上眼睛,獨自思考。

  跟機臺無關,recipe沒變,測試項目穩定,好像真的無路可走了。

  “common tool對的怎么樣?”張偉突然問孔明。

  孔明緊張得直接站了起來,說:“現在一共發現34片異常wafer,分布在8個lot里,common tool是有,但看起來都不太像。”說到后面,孔明的聲音不自覺小了。

  張偉掃了一眼孔明,說:“現在這情況,哪里還顧得上誤殺,你想周一早上被釘在墻上打嗎?凡是可疑的,先發出去讓module查。最后肯定會落在機臺上,好好的wafer怎么可能突然就死了呢,不科學。”

  孔明應了一聲,整理common tool的表格,這里面他篩選出不說會了有十幾個,如果就這樣直接發出去,肯定會讓module笑話的,所以他決定讓魏延幫忙篩選一下。

  “另外再做一遍跟wat的,只用出問題的那8個lot。”張偉又補充說。

  孔明點頭答應。

  我女人張偉重新打開litho的報告,再次看了起來,對于這種沒有明確信號指定的情況,特別是random分布的,litho跟etch最可疑,不過好像有什么細節被遺漏了,張偉準備打起十二分精神,發掘出被隱藏忽略的線索。

  孔明回頭看了一眼張偉的背影,心理一陣酸澀,沒有信號碼途虎!他讓我買!的pie如同瞎子,在困籠里坐著掙扎,誓要打開一個缺口。




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