光刻膠事件的后續之一,就是夏泓終于下決心上馬fdc,而且是全線process機臺,本來夏泓一直在猶豫,因為fdc軟件價格不菲,而且主要作用還是體現在監控上,所以做benchMark的PDF與新超一直被冷落著,事件之后,廠長的權力大增,他是有臺電經驗的臺灣人,所以拍板決定采用PDF家的工具。
上馬fdc,對fab與客戶而言,自然是方便管控了,而對于各家module來說,則是一個巨大的壓力,因為意味頭上要多一道緊箍咒,但是廠長力推,下面也不敢反對。在小部分范圍內,甚至有陰謀論說會不會是PDF設的局。不過想想也不可能,夏泓怎么可能拿光刻膠這么大的事情做這個局。
作為事件的肇事者,litho自然難辭其咎,對fdc不僅沒有反對,反而做出積極配合的態度,一副改過自新的樣子。
本來litho是fab最重要的module,他們甚至有控光者這一神秘稱號,只是出了這樣的事,那就只好被打了。
與litho強相關的部門是opc,因為目前的先進制程的關鍵尺寸已經遠遠小于光源的波長,所以需要對mask做出修正,opc就是做這個的,與litho一起,他們才是完整的控光者。
opc目前用的是m家的calibre工具,用model模擬物理條件,用recipe對layout做出相應修正,如此方能在芯片上得出想要的圖形,當然,還需要其他部門的配合。
不管怎么說,litho對芯片的重要性怎么說都不為過,所以litho出了問題,對經管會,董事局來說,都是一個不折不扣的巨大打擊,不亞于發現軍隊里有人叛變。也因此,整風運動持續了整整一年,這是后話不提。
孔明有點不好意思去找litho干活了,畢竟已經逼走了幾個工程師,里面還有他熟識的人,不過錯也不在他,所以該去還得去。
“東哥,有個新產品要導入,所以需要找個lot在幾個關鍵層上做一下fem,看看情況,所以得麻煩你幫忙建一下recipe。”孔明作為新人,這種跑腿的事自然有他來做。
吳東是90的owner,本來他也受到波及,只是被保了下來,雖然他也覺得自己很冤,但也無話可說。
“我知道了,你發郵件提request吧。”說沒有情緒是不可能,雖然這也確實怪不到孔明的頭上。
孔明笑說,“郵件已經發過了,要不你查收一下。”
吳東查收了郵件,仔細看了需求,說:“lot什么時候到?我需要安排人手。”
因為新產品的recipe需要到車間里建,比較麻煩,所以孔明盡量說好話,不刺激吳東,便說:“最遲周五到,我已經設過future hold了,lot ID 郵件里有。”
吳東點點頭,說:“我知道了。”
工程師一般都藏不住情緒,不過也不會記長久,以吳東的脾性,頂多一個星期,也就過去了。
“handbook我下午下班前發給你。”孔明補充說。
吳東沒有回復,埋頭看他的圖表去了。
孔明有點訕訕,不過吳東也沒有刻意刁難,這點還是讓孔明長長出了一口氣,說:“東哥,那你先忙,我回去了。”