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三十四 光刻工藝

小說:還有人做半導體嗎 作者:仰面清風明月

  因為長期受到瓦森納監管,又加上綠營勢力抬頭,被譽為護國神山的臺電自然不愿將先進制程搬到大陸來,而本土又拒絕大陸人士參與,頂多有第三家廠商的身份參與極小的一部分業務,所以就目前的情況來看,孔明頂多可以去臺電位于上海的落后工廠,而這個,自然是孔明不愿意的。

  隨著所學所看的增多,孔明越發覺得光刻膠事件的不簡單,里面或許有報告之外的東西。老板們或許清楚全部,但肯定不會公開,孔明只好根據自己掌握的情況,盡量推測。

  眾所周知,一個典型的光刻工藝分為很多步,可以說是fab最有技術含量的工藝了,從設備到工藝,從硬件到軟件,都是頂尖。

  晶圓在進入機臺之后,需要先在其上旋涂抗反射圖層,接著要用溶劑去邊,之后是烘烤,接著表面預濕之后旋涂光刻膠,去邊,烘烤,曝光,烘烤,顯影,最后再做沖洗,工藝非常繁瑣。期間用到了3次烘烤,用途都不一樣,其中將光刻膠硬化的這一步最為重要,而這一點也是最考驗光刻膠材料廠商的一點,光刻膠的性質需要極其穩定而敏感,這樣在接下來的曝光顯影之后,才可以留下清晰的版圖,算上初步將電路圖投影到了晶圓上。

  光刻膠需要通過過濾器旋涂在晶圓上,過濾器會不會同時起到推波助瀾的作用呢?還有洗邊不徹底,造成晶圓放置的時候不平整,從而使得曝光的景深出現問題?真空程度也是會有影響的,還有抗反射涂層的親水性?

  孔明躺在床上,盡力的發散思維,光子化為電磁波幽靈,與光刻膠發生光化學反應,產生一系列變化,而變化如果沒有達到預期效果,便會出現異常,從而出現問題。

  光刻機也會有影響,電壓電流擾動,對最終的曝光效果產生影響,機器的穩定性從而要非常高。iLine還好,krf,arf,以及,要求就更高了。

  曝光不好,光刻膠圖像會沒法打印清晰,造成短路或斷路,光刻膠倒伏,還會引起其他污染。

  一個個問題在孔明的腦海里旋轉,他沒有試圖全部搞清楚,對pie來說,找出litho的特性,然后將其揉進pie的工作思路即可。通過這一番折騰,孔明初步掌握了,那就是litho對圖形最敏感,如果是跟特殊圖形相關造成的yield loss,那第一懷疑對象就是litho了,當然,也有可能是opc,不過首先肯定要跟litho確認了。

  工藝下探,會出現單一理論難以解釋的現象,因此面對飛速發展的實驗科學,細微末節的理論,或者說經驗總結,也在不斷的進步。就像早期的金屬線連接不用考慮rc ,而到了45以下,已經變成不得不考慮的內容了。一戰的經驗沒辦法指導二戰,二戰的經驗不適用海灣戰爭,但是戰爭的思路從來都是勝利,追求的目的始終如一。

  作為pie,孔明不允許在他手里出現yield loss,而解不掉。




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