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四十 初試鋒芒

小說:還有人做半導體嗎 作者:仰面清風明月

  周一早上到了公司,開交接的時候,值班工程師說夜里有個lot的wat掛了,章丘看了一下lot,說:“小孔,一會兒你去查一下。”

  孔明脫口而出道:“這是ct cmp的問題,我一會兒就發郵件給他們。”

   wat異常的參數并不是ct的電阻,而是m1 bridge,這怎么是ct cmp的鍋呢?

  章丘隨口問道:“你已經查過了?”

  孔明撓撓頭,說:“我只是記得當時這個lot好像inline就有問題,不過當時放下去了,我會再去確認一下的。”

  事實是,當孔明看到那個異常lot的wat數據時,他的腦海里直接出現了一個答案,沒有分析與推理過程,沒有數據檢索過程,孔明直接就斷定是cmp的問題,這讓他自己也嚇了一跳,所以當章丘尋求confirm的時候,孔明就回答得沒那么自信了。

  交接結束之后,孔明趕緊去查inline數據,ct cmp之后的量測并沒有異常,defect倒是有掃到一片residue,不過當時只是抽掃了一片,所以有可能沒有掃到問題。

  好像陷入了僵局。

  張偉決斷說:“攔下來一片,重測不過的話,做個fa吧。”

   fa是倒是個方法,不過是切片和制樣要求比較高,因為要準確的找到bridge的地方,孔明本來不想去做fa的,可是眼下也沒有好的支持數據,總不能鍋砸在自己手里,所以便取出一片worse的,拿去做切片。

  一般來說,攔下客戶的wafer做切片,是比較困難的,因為有的客戶可能本來就下的貨不多,因為watfail了三分之一的測試點,就全部fail報廢,是不太明智的,一般會進行換點重測,通過的話,客戶也同意,個別情況下,客戶還會waive wat不通過的wafer,實在是為了早點出貨,芯片上市,檔期對產品來說是非常重要的。

  另外,報廢的wafer找不到肇事者,責任該退給誰呢,畢竟一片wafer就是一萬多,也不是小數目啊,超過3片,可是要在mrb解釋的,所有對客戶的wafer,一般處理起來都比較慎重。

  張偉雖然覺得孔明在交接的時候說的有點滿,不過也不是完全不可能,況且自己的小弟,無論如何是要挺的!

  重測的結果依舊達到了fail條件,而且這種metal bridge的問題比較嚴重,直接就沒辦法work,所以孔明老老實實的跑進車間取了出來,然后填了報廢單,做了handbook,又吭哧吭哧的去fa房間做了切片,因為是客戶的wafer,所以直接找廠長拿了p1的紅卡,當天下班前就出來了結果,ct cmp的時候造成了tungsen的residue,進而造成了m1的bridge,而ct bridge因為testkey設計的問題,并沒有抓到這個問題。

  這個事情暴露出來兩個問題,一是ye的recipe需要tighten,二是wat的testkey需要進一步優化,提高指向性,當然,最終的鍋還是cmp的,雖然他們也比較冤,但設備出了問題,該背鍋就背鍋,這也逃不掉。

  對于孔明的洞見,fa結果出來之后,連張偉都有點看不清這個小弟了。瞎貓碰上死耗子?這也未免太準了點。




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